TiN薄膜的制备及其腐蚀磨损性能研究
日期：2019.12.23 阅读数：12
【作者】李晓芳（太原理工大学）
【关键词】 多弧离子镀；磁过滤阴极弧离子镀；TiN薄膜；磨损；腐蚀
【导师姓名】暂无
【学位名称】暂无
【学位年度】2019
【学位授予单位】硕士
【分类号】TB383.2
【录入时间】2019-12-23
【摘要】...。研究结果表明: 采用多弧离子镀和磁过滤技术制备出了平整致密,断面为具有层叠状冰川特征的柱状晶结构TiN薄膜,薄膜仅有TiN相出现,且在(220)方向上择优取向。当偏压300V...
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